يُستخدم WF6 بشكل رئيسي كمادة خام في عملية الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) للتنغستن المعدني في صناعة الإلكترونيات. يُمكن استخدام WSi2 المُنتج من WF6 كمادة أسلاك في الدوائر المتكاملة واسعة النطاق (LSI)، كما يُمكن استخدامه كمادة خام لأقطاب أشباه الموصلات، والفلور، والمواد الخام للعوامل الكيميائية، وحفازات البلمرة، والمواد البصرية، وغيرها.